石英玻璃的膨胀系数极小，相当于普通玻璃的1/12-1/20，透明和不透明石英玻璃分别在1200℃，1100℃作急冷急热实验；不同温度下，石英玻璃的膨胀系数见图。在0-1000度范围内，石英玻璃的膨胀系数是5.4*10-7/℃；掺钛8%的石英玻璃膨胀系数在0-200℃几乎为零。
