石英玻璃基本上是不能透过气体的。但气体氦，氢，氘和氖可以渗透石英玻璃。渗透速度和温度和气体分压有关。
氦的选择性渗透是石英玻璃净化氦的基本原理。气体氦，氢，氘和氖的通过石英玻璃的渗透速度随温度增加而加快。
根据General Electric Research Laboratory的测试数据，几种气体在700 °C的扩散系数如下。

氦 2.1 x 10 -8 cc/sec/cm2/mm/cm.Hg
氢 2.1 x 10 -9
氘 1.7 x 10 -9
氖 9.5 x 10 -10
　
石英玻璃的透气性比普通玻璃大的多，相当于派莱克斯玻璃的10倍，钠钙玻璃的300倍。
He在各种玻璃中的透过速度
石英玻璃        （300度） 3.15
派莱克斯玻璃（300度） 0.338
钠钙玻璃        （283度） 0.0098
铅玻璃            （283度） 0.0037

单位：毫升*10-9常温唱压/秒/厘米2/毫米/厘米汞柱。